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一、功能特点 1.光机电一体化设计，外形结构简单； 2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强； 3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便； 4.采用精密探针定位模块，更换探针简单方便 5.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描； 6.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位； 7.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域； 8.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择； 9.带光学定位的CCD观察系统，实时观测与定位探针扫描样品区域 10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护； 11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。 12.弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强 二、友好的软件界面及操作功能 1. 可自由选择图像采样点为256×256或512×512 2. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图 3. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域 4. 可任意选择样品起始扫描角度 5. 激光光斑检测系统的实时调整功能 6. 可任意定义扫描图像的色板功能 7. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能 8. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正 9. 支持样品图片离线分析与处理功能 三、技术规格 名 称 参 数 名 称 参 数 工作模式 1. 接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力 扫描角度 任意 样品尺寸 Φ≤90mm；H≤20mm 样品移动范围 0～20mm 最大扫描范围 横向20um，纵向2um 马达趋近脉冲宽度 10±2m 扫描分辨率 横向0.2nm，纵向0.05nm 光学放大倍数 4X 扫描速率 0.6Hz~4.34Hz 光学分辨率 2.5um 扫描控制 XY采用18-bit D/A 图像采样点 256×256，512×512 数据采样 14-bit A/D、双16-bit A/D 反馈方式 DSP数字反馈 计算机接口 USB2.0 反馈采样速率 64.0KHz 运行环境 运行于WindowsXP/7/8操作系统
Z采用16-bit D/A
多路同步采样
