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一、用途 BM-107JE型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器,仪器主要采用透、反射照明方式,通过观察和数显系统对精密件的几何量(长度、角度)进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件(如钟表零件)及其他精密件几何参数的测量。 仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。 二、技术规格 光学系统 无限远正像光学系统 观察方式 目镜筒 1、30°铰链式三目头(48mm-75mm) 光学方式 透射、反射 物镜参数 倍率 5X 10X 20X 50X 视场直径(mm) 34 17 8.5 3.5 工作距离(mm) 14.47 16.01 10.5 5.1 目镜参数 WF10X/Φ22mm WF10X/Φ20mm带0.1mm十字分划板 测量范围 工作台测量范围:50×50mm 圆工作台角度测量范围:0°~360° 分度值 X,Y方向分度值:0.001mm 圆工作台游标分度值:5′ 测量精度 仪器示值误差±(4+L/25)μm, L-被测件长度mm 调焦装置 粗微动同轴调焦行程:150mm,微m动格值:0.002mm 照明装置 1. 反射照明:柯勒照明, LED(3W), AC100V-240V 2. 透射照明:LED(3W), AC100V-240V 仪器主要尺寸 工作台:200×200mm,测量工作台直径120mm , 选购件 1. 无限远长工作距离物镜:80X(WD=2.76mm)、 100X(WD=3.1mm) 2、日本三丰Mitutoyo 数显测微手轮 分辨率0.001mm 公英制转换 3、Z向辅助测量装置 4、二维测量软件
2、0.3XCCD适配镜
玻璃工作台直径75mm