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性能指标 ：
1、SE分辨率 30 kV：1.2 nm (工作距离5 mm)；
2、BSE分辨率15 kV（低真空）：2.5 nm；
3、束流：0-200 nA。
功能及应用：
1、热场发射扫描电镜，可对样品表面微观形貌、原子序数衬度和成分进行分析；
2、配备背散射电子探头；
3、配备X 射线能谱仪，可进行微区成分分析，配备Aztec能谱分析软件；
4、配备有低真空模式（10-300 Pa）；
5、对样品无磁性要求，可进行磁性样品的较高分辨成像，对导电性较差样品可不镀膜成像。
样品要求 ：
1、干燥样品、粉末、薄膜、块体均可；
2、最大样品尺寸：200 mm（直径），55 mm（高度）；
3、树脂镶嵌样品需要提前一天烘干或抽真空去除残留气体。
